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布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡

簡要描述:布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡在*技術(shù)節(jié)點(diǎn)上,利用多圖案光刻技術(shù)對CMP提出了納米工藝控制要求,以滿足聚焦深度的需求。InSight CAP圍繞新一代的AFM掃描儀構(gòu)建,可在65μmX / Y掃描范圍內(nèi)提供小于10納米的改進(jìn)平面度。

  • 產(chǎn)品型號:InSight CAP
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-01-26
  • 訪  問  量:1424

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域化工,石油,電子/電池,道路/軌道/船舶,汽車及零部件

布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡

InSight CAP緊湊型原子探查器

基于生產(chǎn)的深度計(jì)量

布魯克的InSight CAP自動原子力輪廓儀專門設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體制造商和供應(yīng)商的CMP和蝕刻計(jì)量的組合平臺。InSight CAP系統(tǒng)具有300毫米自動處理功能和久經(jīng)考驗(yàn)的GEM工廠自動化軟件。

InSight CAP提供

  • CMP和蝕刻的行業(yè)的精度和分辨率
  • 無需模型的無損計(jì)量
  • 在線計(jì)量只需幾分鐘即可完成,適用于技術(shù)開發(fā)
  • 占地面積小,配置靈活,可實(shí)現(xiàn)擁有成本

布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡計(jì)量

在*技術(shù)節(jié)點(diǎn)上,利用多圖案光刻技術(shù)對CMP提出了納米工藝控制要求,以滿足聚焦深度的需求。InSight CAP圍繞一代的AFM掃描儀構(gòu)建,可在65μmX / Y掃描范圍內(nèi)提供小于10納米的改進(jìn)平面度。該系統(tǒng)的NanoScope®V 64位AFM控制器提供5倍的接合性能和5倍的調(diào)諧速度,以提高生產(chǎn)率,同時還具有增強(qiáng)的可靠性。其DT自適應(yīng)掃描模式還有助于加快掃描速度并改善計(jì)量。憑借其*功能的結(jié)合,InSight CAP高分辨率輪廓儀可實(shí)現(xiàn)埃級精度,以測量宏觀凹陷和腐蝕。

Insight CAP圖

InSight CAP蝕刻深度計(jì)量


 

價值平臺

靈活的配置可支持100毫米至300毫米的晶圓尺寸,從而可以針對各種終應(yīng)用進(jìn)行精確測量。從高效的實(shí)驗(yàn)室到全自動的晶圓廠,InSight CAP Profiler可以針對經(jīng)濟(jì)高效的計(jì)量解決方案進(jìn)行配置。

 

 

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